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UHV-ECR-PECVD로 성장한 수소화된 비정질 실리콘과 미세결정 실리콘의 구조적 특성에 대한 연구
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- Authors
- Advisor
- 윤의준
- Issue Date
- 2000
- Publisher
- 서울대학교 대학원
- Description
- 학위논문(석사)--서울대학교 대학원 :무기재료공학과,2000.
- Language
- Korean
- URI
- http://dcollection.snu.ac.kr:80/jsp/common/DcLoOrgPer.jsp?sItemId=000000068502
https://hdl.handle.net/10371/30515
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