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AFM의 원리를 이용한 박막 두께 측정 장비 연구 및 제작
DC Field | Value | Language |
---|---|---|
dc.contributor.advisor | 박병국 | - |
dc.contributor.author | 김태훈 | - |
dc.date.accessioned | 2010-01-15T04:31:57Z | - |
dc.date.available | 2010-01-15T04:31:57Z | - |
dc.date.copyright | 2001. | - |
dc.date.issued | 2001 | - |
dc.identifier.uri | http://dcollection.snu.ac.kr:80/jsp/common/DcLoOrgPer.jsp?sItemId=000000065405 | kor |
dc.identifier.uri | https://hdl.handle.net/10371/31013 | - |
dc.description | 학위논문(석사)--서울대학교 대학원 :전기.컴퓨터공학부,2001. | ko |
dc.format.extent | ii, 42 장 | ko |
dc.language.iso | ko | ko |
dc.publisher | 서울대학교 대학원 | ko |
dc.subject | AFM(Atomic Force Microscopy) | ko |
dc.subject | 박막 두께 측정 | ko |
dc.subject | 실리콘 산화막 | ko |
dc.subject | Feedback | ko |
dc.subject | PZT | ko |
dc.subject | 극소 단차 | ko |
dc.subject | thickness of thin films | ko |
dc.subject | Ultra-thin SiO₂film | ko |
dc.subject | Ultra-small step height | ko |
dc.title | AFM의 원리를 이용한 박막 두께 측정 장비 연구 및 제작 | ko |
dc.type | Thesis | - |
dc.contributor.department | 전기.컴퓨터공학부 | - |
dc.description.degree | Master | ko |
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