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다결정실리콘 박막트랜지스터의 특성향상을 위한 새로운 금속 유도 측면결정화 방법과 열처리 방법에 관한 연구 : 비대칭 오프셋 MILC, scan 급속 열처리
A Study on the new metal-induced lateral crystallization and annealing method for the improvement of poly-Si TFT`s characteristics : asymmetric offset MILC, scan RTA

DC Field Value Language
dc.contributor.advisor주승기-
dc.contributor.author김태경-
dc.date.accessioned2010-01-16T13:54:11Z-
dc.date.available2010-01-16T13:54:11Z-
dc.date.copyright2000.-
dc.date.issued2000-
dc.identifier.urihttp://dcollection.snu.ac.kr:80/jsp/common/DcLoOrgPer.jsp?sItemId=000000068948kor
dc.identifier.urihttps://hdl.handle.net/10371/34578-
dc.description학위논문(박사)--서울대학교 대학원 :금속공학과,2000.ko
dc.format.extentxi, 123 장ko
dc.language.isokoko
dc.publisher서울대학교 대학원ko
dc.subject다결정 실리콘ko
dc.subjectpoly-Siko
dc.subject박막 드랜지스터ko
dc.subjectthin film transistorko
dc.subject금속 유도 측면 결정화ko
dc.subjectmetal-induced lateral crystallizationko
dc.subject누설 전류ko
dc.subjectleakage currentko
dc.subject전기적 스트레스ko
dc.subjectelectrical stressko
dc.title다결정실리콘 박막트랜지스터의 특성향상을 위한 새로운 금속 유도 측면결정화 방법과 열처리 방법에 관한 연구 : 비대칭 오프셋 MILC, scan 급속 열처리ko
dc.title.alternativeA Study on the new metal-induced lateral crystallization and annealing method for the improvement of poly-Si TFT`s characteristics : asymmetric offset MILC, scan RTAko
dc.typeThesis-
dc.contributor.department금속공학과-
dc.description.degreeDoctorko
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College of Engineering/Engineering Practice School (공과대학/대학원)Dept. of Materials Science and Engineering (재료공학부)Theses (Ph.D. / Sc.D._재료공학부)
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