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다결정실리콘 박막트랜지스터의 특성향상을 위한 새로운 금속 유도 측면결정화 방법과 열처리 방법에 관한 연구 : 비대칭 오프셋 MILC, scan 급속 열처리 : A Study on the new metal-induced lateral crystallization and annealing method for the improvement of poly-Si TFT`s characteristics : asymmetric offset MILC, scan RTA
| DC Field | Value | Language |
|---|---|---|
| dc.contributor.advisor | 주승기 | - |
| dc.contributor.author | 김태경 | - |
| dc.date.accessioned | 2010-01-16T13:54:11Z | - |
| dc.date.available | 2010-01-16T13:54:11Z | - |
| dc.date.copyright | 2000. | - |
| dc.date.issued | 2000 | - |
| dc.identifier.uri | http://dcollection.snu.ac.kr:80/jsp/common/DcLoOrgPer.jsp?sItemId=000000068948 | kor |
| dc.identifier.uri | https://hdl.handle.net/10371/34578 | - |
| dc.description | 학위논문(박사)--서울대학교 대학원 :금속공학과,2000. | ko |
| dc.format.extent | xi, 123 장 | ko |
| dc.language.iso | ko | ko |
| dc.publisher | 서울대학교 대학원 | ko |
| dc.subject | 다결정 실리콘 | ko |
| dc.subject | poly-Si | ko |
| dc.subject | 박막 드랜지스터 | ko |
| dc.subject | thin film transistor | ko |
| dc.subject | 금속 유도 측면 결정화 | ko |
| dc.subject | metal-induced lateral crystallization | ko |
| dc.subject | 누설 전류 | ko |
| dc.subject | leakage current | ko |
| dc.subject | 전기적 스트레스 | ko |
| dc.subject | electrical stress | ko |
| dc.title | 다결정실리콘 박막트랜지스터의 특성향상을 위한 새로운 금속 유도 측면결정화 방법과 열처리 방법에 관한 연구 : 비대칭 오프셋 MILC, scan 급속 열처리 | ko |
| dc.title.alternative | A Study on the new metal-induced lateral crystallization and annealing method for the improvement of poly-Si TFT`s characteristics : asymmetric offset MILC, scan RTA | ko |
| dc.type | Thesis | - |
| dc.contributor.department | 금속공학과 | - |
| dc.description.degree | Doctor | ko |
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