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Micro turbine development based on MEMS technology : MEMS 기술을 이용한 마이크로 터빈 개발
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- Authors
- Advisor
- 송성진
- Issue Date
- 2003
- Publisher
- 서울대학교 대학원
- Keywords
- 마이크로 터빈 ; Microturbine ; 마이크로 파워 시스템 ; Micro power system ; 마이크로 가스 베어링 ; Micro gas bearing ; 고형상비 ; High aspect ratio ; DRIE ; Drie ; 실리콘 직접접합법 ; Si direct bonding
- Description
- Thesis (master`s)--서울대학교 대학원 :기계항공공학부,2003.
- Language
- English
- URI
- http://dcollection.snu.ac.kr:80/jsp/common/DcLoOrgPer.jsp?sItemId=000000058566
https://hdl.handle.net/10371/45681
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