전기적 강성 조절 방식의 미세 전기 기계 공진형 가속도계에 관한 연구

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전기적 강성 조절 방식의 미세 전기 기계 공진형 가속도계에 관한 연구 : (A)Study on MEMS-based resonant accelerometer using electrostatic stiffness changing effect

DC Field	Value	Language
dc.contributor.advisor	전국진	-
dc.contributor.author	이병렬	-
dc.date.accessioned	2010-01-27T23:14:22Z	-
dc.date.available	2010-01-27T23:14:22Z	-
dc.date.copyright	2004.	-
dc.date.issued	2004	-
dc.identifier.uri	http://dcollection.snu.ac.kr:80/jsp/common/DcLoOrgPer.jsp?sItemId=000000053836	kog
dc.identifier.uri	https://hdl.handle.net/10371/45850	-
dc.description	학위논문(박사)--서울대학교 대학원 :전기·컴퓨터공학부,2004.	ko
dc.format.extent	xi, 156 p.	ko
dc.language.iso	ko	ko
dc.publisher	서울대학교 대학원	ko
dc.subject	가속도계	ko
dc.subject	Accelerometer	ko
dc.subject	진동 빔형 가속도계	ko
dc.subject	Vba	ko
dc.subject	진동형 가속도계	ko
dc.subject	Via	ko
dc.subject	공진형 가속도계	ko
dc.subject	Voa	ko
dc.subject	진공 실장	ko
dc.subject	Vibrating accelerometer	ko
dc.subject	웨이퍼 단위 진공 실장	ko
dc.subject	Oscillating accelerometer	ko
dc.subject	혼합형 미세 가공	ko
dc.subject	Resonant accelerometer	ko
dc.subject	Vacuum packaging	ko
dc.subject	Wafer level packaging	ko
dc.subject	Mixed micro-machining	ko
dc.title	전기적 강성 조절 방식의 미세 전기 기계 공진형 가속도계에 관한 연구	ko
dc.title.alternative	(A)Study on MEMS-based resonant accelerometer using electrostatic stiffness changing effect	ko
dc.type	Thesis	-
dc.contributor.department	전기·컴퓨터공학부	-
dc.description.degree	Doctor	ko

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