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Design and Fabrication of Highly Reliable Poly-Si TFT by Magnetic Field Enhanced RTA Crystallization : 자계유도 급속열처리 결정화에 의한 고신뢰성 다결정 실리콘 박막 트랜지스터의 설계 및 제작
| DC Field | Value | Language |
|---|---|---|
| dc.contributor.advisor | 한민구 | - |
| dc.contributor.author | 이원규 | - |
| dc.date.accessioned | 2010-01-29T06:09:50Z | - |
| dc.date.available | 2010-01-29T06:09:50Z | - |
| dc.date.copyright | 2009. | - |
| dc.date.issued | 2009 | - |
| dc.identifier.uri | http://dcollection.snu.ac.kr:80/jsp/common/DcLoOrgPer.jsp?sItemId=000000036072 | eng |
| dc.identifier.uri | https://hdl.handle.net/10371/46864 | - |
| dc.description | Thesis(doctors) --서울대학교 대학원 :전기. 컴퓨터공학부, 2009.2. | en |
| dc.format.extent | 251 p. | en |
| dc.language.iso | en | en |
| dc.publisher | 서울대학교 대학원 | en |
| dc.subject | 다결정 실리콘 박막 트랜지스터 | en |
| dc.subject | polycrystalline silicon thin film transistor (poly-Si TFT) | en |
| dc.subject | 다결정 실리콘 박막 | en |
| dc.subject | polycrystalline silicon film | en |
| dc.subject | 교류자계유도 금속열처리 | en |
| dc.subject | alternating magnetic-field-enhanced rapid thermal annealing (AMFERTA) | en |
| dc.title | Design and Fabrication of Highly Reliable Poly-Si TFT by Magnetic Field Enhanced RTA Crystallization | en |
| dc.title.alternative | 자계유도 급속열처리 결정화에 의한 고신뢰성 다결정 실리콘 박막 트랜지스터의 설계 및 제작 | en |
| dc.type | Thesis | - |
| dc.contributor.department | 전기. 컴퓨터공학부 | - |
| dc.description.degree | Doctor | en |
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