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MOCVD법을 이용한 회전 멀티 웨이퍼의 균일도 최적화 조건에 대한 수치해석
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- Authors
- Advisor
- 김찬중
- Issue Date
- 2003
- Publisher
- 서울대학교 대학원
- Keywords
- 화학적 금속 기상 성장 ; MOCVD ; 회전 멀티 웨이퍼 ; Rotating Multi Wafer ; 균일도 ; Uniformity ; 온도 구배 ; Temperature Gradients ; 농도 ; Species Concentration
- Description
- 학위논문(석사)--서울대학교 대학원 :기계항공공학부,2003.
- Language
- Korean
- URI
- http://dcollection.snu.ac.kr:80/jsp/common/DcLoOrgPer.jsp?sItemId=000000057109
https://hdl.handle.net/10371/48255
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