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MOCVD법을 이용한 회전 멀티 웨이퍼의 균일도 최적화 조건에 대한 수치해석

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dc.contributor.advisor김찬중-
dc.contributor.author임홍택-
dc.date.accessioned2010-02-01T11:06:30Z-
dc.date.available2010-02-01T11:06:30Z-
dc.date.copyright2003.-
dc.date.issued2003-
dc.identifier.urihttp://dcollection.snu.ac.kr:80/jsp/common/DcLoOrgPer.jsp?sItemId=000000057109kog
dc.identifier.urihttps://hdl.handle.net/10371/48255-
dc.description학위논문(석사)--서울대학교 대학원 :기계항공공학부,2003.ko
dc.format.extentvii, 77 장ko
dc.language.isokoko
dc.publisher서울대학교 대학원ko
dc.subject화학적 금속 기상 성장ko
dc.subjectMOCVDko
dc.subject회전 멀티 웨이퍼ko
dc.subjectRotating Multi Waferko
dc.subject균일도ko
dc.subjectUniformityko
dc.subject온도 구배ko
dc.subjectTemperature Gradientsko
dc.subject농도ko
dc.subjectSpecies Concentrationko
dc.titleMOCVD법을 이용한 회전 멀티 웨이퍼의 균일도 최적화 조건에 대한 수치해석ko
dc.typeThesis-
dc.contributor.department기계항공공학부-
dc.description.degreeMasterko
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College of Engineering/Engineering Practice School (공과대학/대학원)Dept. of Mechanical Aerospace Engineering (기계항공공학부)Theses (Master's Degree_기계항공공학부)
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