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ICP RIE를 이용한 GaAs p-HEMT 성능 향상에 관한 연구
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- Authors
- Advisor
- 서광석
- Issue Date
- 2008
- Publisher
- 서울대학교 대학원
- Keywords
- 가스피헴트 ; GaAs p-HEMT ; 소스저항 ; Rs ; 트랜스컨덕턴스 ; gm ; 인듐갈륨포스파이드 ; InGaP ; 플라즈마 ; InGaAs HEMT ; ICP plasma etcher
- Description
- 학위논문(석사) --서울대학교 대학원 :전기. 컴퓨터공학부,2008.2
- Language
- Korean
- URI
- http://dcollection.snu.ac.kr:80/jsp/common/DcLoOrgPer.jsp?sItemId=000000041220
https://hdl.handle.net/10371/48381
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