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Multiple Gate SONOS Flash Memory Devices for High Density Memory : 고집적 메모리 개발을 위한 다중 게이트 SONOS 플래시 메모리 소자에 대한 연구

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dc.contributor.advisor이종덕-
dc.contributor.author조일환-
dc.date.accessioned2010-02-02T08:26:28Z-
dc.date.available2010-02-02T08:26:28Z-
dc.date.copyright2007.-
dc.date.issued2007-
dc.identifier.urihttp://dcollection.snu.ac.kr:80/jsp/common/DcLoOrgPer.jsp?sItemId=000000043006eng
dc.identifier.urihttps://hdl.handle.net/10371/48505-
dc.description학위논문(박사) --서울대학교 대학원 :전기. 컴퓨터공학부,2007.en
dc.format.extentv, 108 p.en
dc.language.isoenen
dc.publisher서울대학교 대학원en
dc.subject비휘발성 메모리en
dc.subjectnonvolatile memoryen
dc.subject플래시메모리en
dc.subjectflash memoryen
dc.subject이중게이트 FinFETen
dc.subjectdouble gate finFETen
dc.subject실리콘-산화막-질화막-산화막-실리콘(SONOS)en
dc.subjectsilicon-oxide-nitride-oxide-silicon (SONOS)en
dc.subject짧은 채널 효과en
dc.subjectshort channel effecten
dc.subjectchemical mechanical polishing (CMP)en
dc.subjectchemical mechanical polishing (CMP)en
dc.subjectFowler-Nordheim tunnelingen
dc.subjectFowler-Nordheim tunneling. Scaling down technologyen
dc.subject스케일링 다운en
dc.subjectNAND flashen
dc.subjectNAND 플래시 메모리en
dc.titleMultiple Gate SONOS Flash Memory Devices for High Density Memoryen
dc.title.alternative고집적 메모리 개발을 위한 다중 게이트 SONOS 플래시 메모리 소자에 대한 연구en
dc.typeThesis-
dc.contributor.department전기. 컴퓨터공학부-
dc.description.degreeDoctoren
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