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변형 유전자 알고리즘을 이용한 마스크 패턴의 광학적 근접효과 보정에 관한 연구
| DC Field | Value | Language |
|---|---|---|
| dc.contributor.advisor | 이성묵 | - |
| dc.contributor.author | 박정보 | - |
| dc.date.accessioned | 2010-02-04T06:12:26Z | - |
| dc.date.available | 2010-02-04T06:12:26Z | - |
| dc.date.copyright | 1998. | - |
| dc.date.issued | 1998 | - |
| dc.identifier.uri | http://library.snu.ac.kr/search/DetailView.ax?sid=1&cid=0000757830 | kog |
| dc.identifier.uri | https://hdl.handle.net/10371/49809 | - |
| dc.description | 학위논문(석사)--서울대학교 대학원 :과학교육과 물리전공,1998. | ko |
| dc.format.extent | 56 장 | ko |
| dc.language.iso | ko | ko |
| dc.publisher | 서울대학교 대학원 | ko |
| dc.title | 변형 유전자 알고리즘을 이용한 마스크 패턴의 광학적 근접효과 보정에 관한 연구 | ko |
| dc.type | Thesis | - |
| dc.contributor.department | 과학교육과 물리전공 | - |
| dc.description.degree | Master | ko |
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