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MILC 공정에 의한 저온 다결정 실리콘 박막 트랜지스터 제작에 관한 연구 : A Study on the fabrication of low temperature Poly-Si thin film transistor by MILC process
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- Authors
- Advisor
- 주승기
- Issue Date
- 1998
- Publisher
- 서울대학교 대학원
- Keywords
- 금속 유도 측면 결정화 ; 금속 유도 결정화 ; ECR 플라즈마 산화 ; 불순물 활성화 ; 이온 질량 도핑
- Description
- 학위논문(박사)--서울대학교 대학원 :금속공학과,1998.
- Language
- Korean
- URI
- http://dcollection.snu.ac.kr:80/jsp/common/DcLoOrgPer.jsp?sItemId=000000074779
https://hdl.handle.net/10371/50840
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