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플라즈마 화학증착법을 이용한 (Ti[1-x]Al[x])N 박막의 제조 및 특성에 관한 연구 : Preparation and properties of the (Ti[1-x]Al[x])N coatings deposited by plasma enhanced chemical vapor deposition
| DC Field | Value | Language |
|---|---|---|
| dc.contributor.advisor | 이정중 | - |
| dc.contributor.author | 이상협 | - |
| dc.date.accessioned | 2010-02-05T06:45:14Z | - |
| dc.date.available | 2010-02-05T06:45:14Z | - |
| dc.date.copyright | 1995. | - |
| dc.date.issued | 1995 | - |
| dc.identifier.uri | http://dcollection.snu.ac.kr:80/jsp/common/DcLoOrgPer.jsp?sItemId=000000084671 | kog |
| dc.identifier.uri | https://hdl.handle.net/10371/50889 | - |
| dc.description | 학위논문(박사)--서울대학교 대학원 :금속공학과,1995. | ko |
| dc.format.extent | ix, 115 장 | ko |
| dc.language.iso | ko | ko |
| dc.publisher | 서울대학교 대학원 | ko |
| dc.subject | 플라즈마 화학증착 | ko |
| dc.subject | TiAlN | ko |
| dc.subject | AlN | ko |
| dc.subject | 농도경사 | ko |
| dc.subject | 준안정상 | ko |
| dc.title | 플라즈마 화학증착법을 이용한 (Ti[1-x]Al[x])N 박막의 제조 및 특성에 관한 연구 | ko |
| dc.title.alternative | Preparation and properties of the (Ti[1-x]Al[x])N coatings deposited by plasma enhanced chemical vapor deposition | ko |
| dc.type | Thesis | - |
| dc.contributor.department | 금속공학과 | - |
| dc.description.degree | Doctor | ko |
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