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Charging effect mitigation of the micromirror using floating field limiting shield : 무접지 보호막을 이용한 마이크로 미러의 전하 효과 완화에 관한 연구

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dc.contributor.advisor김용권-
dc.contributor.author유병욱-
dc.date.accessioned2010-02-09-
dc.date.available2010-02-09-
dc.date.copyright2007.-
dc.date.issued2007-
dc.identifier.urihttp://dcollection.snu.ac.kr:80/jsp/common/DcLoOrgPer.jsp?sItemId=000000043926eng
dc.identifier.urihttps://hdl.handle.net/10371/52456-
dc.description학위논문(석사) --서울대학교 대학원 :전기. 컴퓨터공학부,2007.en
dc.format.extentiv, 55 p.en
dc.language.isoenen
dc.publisher서울대학교 대학원en
dc.subject마이크로 미러en
dc.subjectmicromirroren
dc.subject전하 효과en
dc.subjectcharging effecten
dc.subject편류각en
dc.subjectdriften
dc.subject점착en
dc.subjectstictionen
dc.subject바닥전극en
dc.subjectbottom electrodeen
dc.subject무접지 보호막en
dc.subjectfloating field limiting shielden
dc.titleCharging effect mitigation of the micromirror using floating field limiting shielden
dc.title.alternative무접지 보호막을 이용한 마이크로 미러의 전하 효과 완화에 관한 연구en
dc.typeThesis-
dc.contributor.department전기. 컴퓨터공학부-
dc.description.degreeMasteren
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