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대기압 플라즈마를 한 식각 반응기 개발 : Development of Atmospheric Pressure Plasma Etcher
| DC Field | Value | Language |
|---|---|---|
| dc.contributor.advisor | 김곤호 | - |
| dc.contributor.author | 정수연 | - |
| dc.date.accessioned | 2009-11-16T22:59:05Z | - |
| dc.date.available | 2009-11-16T22:59:05Z | - |
| dc.date.copyright | 2007. | - |
| dc.date.issued | 2007 | - |
| dc.identifier.uri | http://dcollection.snu.ac.kr:80/jsp/common/DcLoOrgPer.jsp?sItemId=000000043678 | kor |
| dc.identifier.uri | https://hdl.handle.net/10371/12265 | - |
| dc.description | 학위논문(석사) --서울대학교 대학원 :원자핵공학과,2007. | kor |
| dc.format.extent | iv, 54 장 | kor |
| dc.language.iso | ko | kor |
| dc.publisher | 서울대학교 대학원 | kor |
| dc.subject | 대기압 플라즈마 | kor |
| dc.subject | Atmospheric pressure plasma | kor |
| dc.subject | 유전체 격벽 방전 | kor |
| dc.subject | Dielectric barrier discharge | kor |
| dc.subject | 식각 공정 | kor |
| dc.subject | etch process | kor |
| dc.subject | 비정질 실리콘 식각 | kor |
| dc.subject | amorphous silicon etch | kor |
| dc.title | 대기압 플라즈마를 한 식각 반응기 개발 | kor |
| dc.title.alternative | Development of Atmospheric Pressure Plasma Etcher | kor |
| dc.type | Thesis | - |
| dc.contributor.department | 원자핵공학과 | - |
| dc.description.degree | Master | kor |
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