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Null Point 주사현미경을 이용한 매달린 형태 CVD 그래핀의 열전도도, 그리고 제백계수 측정 : Thermal Conductivity and the Seebeck Coefficient Measurements of Suspended CVD Graphene Using Null Point Scanning Thermal Microscopy
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- Authors
- Advisor
- 이준식
- Major
- 공과대학 기계항공공학부(멀티스케일 기계설계전공)
- Issue Date
- 2013-02
- Publisher
- 서울대학교 대학원
- Keywords
- CVD 그래핀 ; 그래핀 bridge ; 그래핀 줄 가열 ; 열전도도 ; 제백계수 ; 전기전도도 ; 전기접촉저항 ; Null Point 주사현미경 (NP SThM) ; 원자력 현미경 포텐셔미터 ; PDMS stamping
- Description
- 학위논문 (석사)-- 서울대학교 대학원 : 기계항공공학부(멀티스케일 기계설계전공), 2013. 2. 이준식.
- Abstract
- 매달린 형태의 CVD 그래핀 bridge 구조를 갖는 시편 제작을 위해 제작 방법이 간단하며 폴리머 잔류물을 적게 남기는 PDMS stamping 방법을 이용하였다. 금속전극에 매달린 형태의 구조를 갖는 최대 4.8 μm길이의 그래핀 bridge 시편을 제작하였다.
NP SThM을 이용하여 전기적으로 가열된 매달린 형태 그래핀의 표면 온도분포를 정량적으로 계측하였으며, 원자력 현미경 포텐셔미터를 이용하여 금 전극과 그래핀 사이의 정량적인 접촉저항 계측으로부터 그래핀에 인가된 power를 계측하였다. 정량적인 온도와 power 계측으로부터 매달린 구조 CVD그래핀의 열전도도를 계측하였다. 또한, 동일한 시편으로 게이트전압 변화에 따른 그래핀의 제백계수 그리고 전기전도도를 측정하였다.
- Language
- Korean
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