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Fabrication of nanopores and nanochannels for ionic field effect transistors : 나노포어 및 나노채널을 이용한 전기장 구동 이온 트랜지스터 제작
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- Authors
- Advisor
- 김기범
- Issue Date
- 2009
- Publisher
- 서울대학교 대학원
- Keywords
- 전기유체공학 시스템 ; Electrofluidics ; 전기장 구동 이온 트랜지스터 ; Ionic field effect transistors ; 전자빔 리소그래피 ; E-beam lithography ; 원자층 증착 공정 ; Atomic layer deposition ; 자기 제한 공정 ; Self-limiting process
- Description
- Thesis(doctors) --서울대학교 대학원 :재료공학부,2009.8.
- Language
- English
- URI
- http://dcollection.snu.ac.kr:80/jsp/common/DcLoOrgPer.jsp?sItemId=000000038133
https://hdl.handle.net/10371/12864
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