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EUV absorber로 사용되는 TaN 막질의 식각특성 및 TaN 패턴 측벽각도가 EUVL에 미치는 영향
| DC Field | Value | Language |
|---|---|---|
| dc.contributor.advisor | 문상흡 | - |
| dc.contributor.author | 장일용 | - |
| dc.date.accessioned | 2009-11-18T05:45:28Z | - |
| dc.date.available | 2009-11-18T05:45:28Z | - |
| dc.date.copyright | 2008. | - |
| dc.date.issued | 2008 | - |
| dc.identifier.uri | http://dcollection.snu.ac.kr:80/jsp/common/DcLoOrgPer.jsp?sItemId=000000039721 | kor |
| dc.identifier.uri | https://hdl.handle.net/10371/13100 | - |
| dc.description | 학위논문(석사) --서울대학교 대학원 :화학생물공학부,2008.2. | kor |
| dc.format.extent | vi, 70 장 | kor |
| dc.language.iso | ko | - |
| dc.publisher | 서울대학교 대학원 | kor |
| dc.subject | EUVL | kor |
| dc.subject | EUVL | kor |
| dc.subject | 마스크 | kor |
| dc.subject | mask | kor |
| dc.subject | absorber | kor |
| dc.subject | absorber | kor |
| dc.subject | TaN | kor |
| dc.subject | TaN | kor |
| dc.subject | 플라즈마 | kor |
| dc.subject | Plasma | kor |
| dc.subject | 패러데이 상자 | kor |
| dc.subject | Faraday cage | kor |
| dc.subject | 전산모사 | kor |
| dc.subject | Simulation | kor |
| dc.title | EUV absorber로 사용되는 TaN 막질의 식각특성 및 TaN 패턴 측벽각도가 EUVL에 미치는 영향 | kor |
| dc.type | Thesis | - |
| dc.contributor.department | 화학생물공학부 | - |
| dc.description.degree | Master | kor |
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