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구리배선형성용 연마슬러리에 사용되는 부식방지제 및 공정 연구
| DC Field | Value | Language |
|---|---|---|
| dc.contributor.advisor | 김재정 | - |
| dc.contributor.author | 이종원 | - |
| dc.date.accessioned | 2009-11-18T07:44:16Z | - |
| dc.date.available | 2009-11-18T07:44:16Z | - |
| dc.date.copyright | 2005. | - |
| dc.date.issued | 2005 | - |
| dc.identifier.uri | http://dcollection.snu.ac.kr:80/jsp/common/DcLoOrgPer.jsp?sItemId=000000052920 | kor |
| dc.identifier.uri | https://hdl.handle.net/10371/13372 | - |
| dc.description | 학위논문(석사)--서울대학교 대학원 :화학생물공학부,2005. | kor |
| dc.format.extent | ix, 101 장 | kor |
| dc.language.iso | ko | kor |
| dc.publisher | 서울대학교 대학원 | kor |
| dc.subject | 구리배선형성 | kor |
| dc.subject | metallization | kor |
| dc.subject | 금속화공정 | kor |
| dc.subject | slurry | kor |
| dc.subject | 슬러리 | kor |
| dc.subject | corrosion | kor |
| dc.subject | 부식방지제 | kor |
| dc.subject | inhibitor | kor |
| dc.subject | 벤조트리아졸 | kor |
| dc.subject | CMP | kor |
| dc.subject | 아미노테트라졸 | kor |
| dc.subject | BTA | kor |
| dc.subject | 부식 | kor |
| dc.subject | ATRA | kor |
| dc.subject | 침하 | kor |
| dc.subject | erosion | kor |
| dc.subject | 디싱 | kor |
| dc.subject | dishing | kor |
| dc.subject | 버핑. | kor |
| dc.subject | buffing | kor |
| dc.title | 구리배선형성용 연마슬러리에 사용되는 부식방지제 및 공정 연구 | kor |
| dc.type | Thesis | - |
| dc.contributor.department | 화학생물공학부 | - |
| dc.description.degree | Master | kor |
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