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(A)study on crystallinity improvement of MILC poly-Si thin film : 금속유도측면결정화 방법을 이용해 결정화 시킨 다결정 실리콘 박막의 결정성 향상을 위한 연구
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- Authors
- Advisor
- 주승기
- Issue Date
- 2007
- Publisher
- 서울대학교 대학원
- Keywords
- 금속유도측면결정화 ; metal-induced lateral crystallization (MILC) ; 다결정 실리콘 ; polycrystalline silicon (poly-Si) ; 크리스탈 필터 ; crystal filter (CF) ; 박막 트랜지스터 ; thin film transistor (TFT)
- Description
- 학위논문(박사) --서울대학교 대학원 :재료공학부,2007.
- Language
- English
- URI
- http://dcollection.snu.ac.kr:80/jsp/common/DcLoOrgPer.jsp?sItemId=000000042935
https://hdl.handle.net/10371/13566
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