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R.F. 마그네트론 스퍼터링에 의한 TiO₂박막 증착 및 특성
DC Field | Value | Language |
---|---|---|
dc.contributor.advisor | 홍성현 | - |
dc.contributor.author | 이규성 | - |
dc.date.accessioned | 2009-11-24T23:15:40Z | - |
dc.date.available | 2009-11-24T23:15:40Z | - |
dc.date.copyright | 2003. | - |
dc.date.issued | 2003 | - |
dc.identifier.uri | http://dcollection.snu.ac.kr:80/jsp/common/DcLoOrgPer.jsp?sItemId=000000057664 | kor |
dc.identifier.uri | https://hdl.handle.net/10371/14674 | - |
dc.description | 학위논문(석사)--서울대학교 대학원 :재료공학부,2003. | kor |
dc.format.extent | viii, 72 장 | kor |
dc.language.iso | ko | - |
dc.publisher | 서울대학교 대학원 | kor |
dc.subject | 스퍼터링 | kor |
dc.subject | Sputtering | kor |
dc.subject | TiO2 박막 | kor |
dc.subject | TiO₂ thin film | kor |
dc.subject | 미세구조 | kor |
dc.subject | Microstructure | kor |
dc.subject | CO gas | kor |
dc.subject | CO gas | kor |
dc.subject | Sensor | kor |
dc.subject | Sensor | kor |
dc.title | R.F. 마그네트론 스퍼터링에 의한 TiO₂박막 증착 및 특성 | kor |
dc.type | Thesis | - |
dc.contributor.department | 재료공학부 | - |
dc.description.degree | Master | kor |
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