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탄화규소의 반응성 이온 식각 특성에 관한 연구
| DC Field | Value | Language |
|---|---|---|
| dc.contributor.advisor | 김형준 | - |
| dc.contributor.author | 김범석 | - |
| dc.date.accessioned | 2009-11-24T23:32:08Z | - |
| dc.date.available | 2009-11-24T23:32:08Z | - |
| dc.date.copyright | 2003. | - |
| dc.date.issued | 2003 | - |
| dc.identifier.uri | http://dcollection.snu.ac.kr:80/jsp/common/DcLoOrgPer.jsp?sItemId=000000057465 | kor |
| dc.identifier.uri | https://hdl.handle.net/10371/14722 | - |
| dc.description | 학위논문(석사)--서울대학교 대학원 :재료공학부,2003. | kor |
| dc.format.extent | ix, 76 장 | kor |
| dc.language.iso | ko | - |
| dc.publisher | 서울대학교 대학원 | kor |
| dc.subject | 4H-SiC | kor |
| dc.subject | 4H-SiC | kor |
| dc.subject | 반응성 이온 식각 | kor |
| dc.subject | Reactive ion etching | kor |
| dc.subject | Schottky diode | kor |
| dc.subject | Schottky diode | kor |
| dc.subject | 장벽 높이 | kor |
| dc.subject | Barrier height | kor |
| dc.subject | 역방향 누설 전류 | kor |
| dc.subject | Reverse leakage current | kor |
| dc.subject | 표면 결함 | kor |
| dc.subject | Surface defects | kor |
| dc.subject | RMS 거칠기 | kor |
| dc.subject | RMS roughness | kor |
| dc.title | 탄화규소의 반응성 이온 식각 특성에 관한 연구 | kor |
| dc.type | Thesis | - |
| dc.contributor.department | 재료공학부 | - |
| dc.description.degree | Master | kor |
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