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유기 금속 화학 증착법을 이용한 Hf 기반 유전박막 증착과 특성향상 및 계면과 막내 질소 함유 영향에 관한 연구
| DC Field | Value | Language |
|---|---|---|
| dc.contributor.advisor | 황철성 | - |
| dc.contributor.author | 홍석훈 | - |
| dc.date.accessioned | 2009-11-25 | - |
| dc.date.available | 2009-11-25 | - |
| dc.date.copyright | 2006. | - |
| dc.date.issued | 2006 | - |
| dc.identifier.uri | http://dcollection.snu.ac.kr:80/jsp/common/DcLoOrgPer.jsp?sItemId=000000047520 | kor |
| dc.identifier.uri | https://hdl.handle.net/10371/14839 | - |
| dc.description | 학위논문(석사)--서울대학교 대학원 :재료공학부,2006. | kor |
| dc.format.extent | xv, 166 p. | kor |
| dc.language.iso | ko | - |
| dc.publisher | 서울대학교 대학원 | kor |
| dc.subject | HfO2 | kor |
| dc.subject | Hf-silicate | kor |
| dc.subject | gate oxide | kor |
| dc.subject | CVD | kor |
| dc.title | 유기 금속 화학 증착법을 이용한 Hf 기반 유전박막 증착과 특성향상 및 계면과 막내 질소 함유 영향에 관한 연구 | kor |
| dc.type | Thesis | - |
| dc.contributor.department | 재료공학부 | - |
| dc.description.degree | Master | kor |
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