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Fabrication of sub-10nm nano-channels for inoic transistor : 이온 트랜지스터 제작을 위한 10nm 이하의 나노채널 제작
| DC Field | Value | Language |
|---|---|---|
| dc.contributor.advisor | 김기범 | - |
| dc.contributor.author | 이승현 | - |
| dc.date.accessioned | 2019-07-10T05:10:54Z | - |
| dc.date.available | 2019-07-10T05:10:54Z | - |
| dc.date.issued | 2011-02 | - |
| dc.identifier.other | 000000029781 | - |
| dc.identifier.uri | https://hdl.handle.net/10371/159517 | - |
| dc.identifier.uri | http://dcollection.snu.ac.kr:80/jsp/common/DcLoOrgPer.jsp?sItemId=000000029781 | ko_KR |
| dc.description | 학위논문 (석사)-- 서울대학교 대학원 : 재료공학부, 2011.2. 김기범. | - |
| dc.format.extent | 73장 | - |
| dc.language.iso | kor | - |
| dc.publisher | 서울대학교 대학원 | - |
| dc.subject | 나노플루익스 | - |
| dc.subject | 이온 전기장 효과 트랜지스터 | - |
| dc.subject | 전자빔 리소그라피 | - |
| dc.subject | 원자 증착법 | - |
| dc.subject | 자기 막음 공정 | - |
| dc.subject | nanofluidics | - |
| dc.subject | ionic field effect trasistors | - |
| dc.subject | electron beam lithography | - |
| dc.subject | atomic layer deposition | - |
| dc.subject | self-sealing process | - |
| dc.title | Fabrication of sub-10nm nano-channels for inoic transistor | - |
| dc.title.alternative | 이온 트랜지스터 제작을 위한 10nm 이하의 나노채널 제작 | - |
| dc.type | Thesis | - |
| dc.type | Dissertation | - |
| dc.description.degree | Master | - |
| dc.contributor.affiliation | 재료공학부 | - |
| dc.date.awarded | 2011-02 | - |
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