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반응성 스퍼터링법을 이용한 (Ti,Al)N 확산방지막의 증착 및 특성분석
DC Field | Value | Language |
---|---|---|
dc.contributor.advisor | 황철성 | - |
dc.contributor.author | 송재원 | - |
dc.date.accessioned | 2010-01-15T02:37:59Z | - |
dc.date.available | 2010-01-15T02:37:59Z | - |
dc.date.copyright | 2001. | - |
dc.date.issued | 2001 | - |
dc.identifier.uri | http://dcollection.snu.ac.kr:80/jsp/common/DcLoOrgPer.jsp?sItemId=000000064782 | kor |
dc.identifier.uri | https://hdl.handle.net/10371/30475 | - |
dc.description | 학위논문(석사)--서울대학교 대학원 :재료공학부,2001. | ko |
dc.format.extent | vii, 64 장 | ko |
dc.language.iso | ko | ko |
dc.publisher | 서울대학교 대학원 | ko |
dc.title | 반응성 스퍼터링법을 이용한 (Ti,Al)N 확산방지막의 증착 및 특성분석 | ko |
dc.type | Thesis | - |
dc.contributor.department | 재료공학부 | - |
dc.description.degree | Master | ko |
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