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유도결합 플라즈마 스퍼터링에 의한 TiN 박막의 제조 및 특성
| DC Field | Value | Language |
|---|---|---|
| dc.contributor.advisor | 이정중 | - |
| dc.contributor.author | 박태형 | - |
| dc.date.accessioned | 2010-01-15T02:45:24Z | - |
| dc.date.available | 2010-01-15T02:45:24Z | - |
| dc.date.copyright | 2000. | - |
| dc.date.issued | 2000 | - |
| dc.identifier.uri | http://dcollection.snu.ac.kr:80/jsp/common/DcLoOrgPer.jsp?sItemId=000000068352 | kor |
| dc.identifier.uri | https://hdl.handle.net/10371/30655 | - |
| dc.description | 학위논문(석사)--서울대학교 대학원 :금속공학과,2000. | ko |
| dc.format.extent | iii, 44 장 | ko |
| dc.language.iso | ko | ko |
| dc.publisher | 서울대학교 대학원 | ko |
| dc.title | 유도결합 플라즈마 스퍼터링에 의한 TiN 박막의 제조 및 특성 | ko |
| dc.type | Thesis | - |
| dc.contributor.department | 금속공학과 | - |
| dc.description.degree | Master | ko |
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