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질소이온주입된 실리콘 기판 위에 성장한 게이트 산화막에 관한 연구 : Ultra-thin gate oxide grown on nitrogen implanted silicon
| DC Field | Value | Language |
|---|---|---|
| dc.contributor.advisor | 이종덕 | - |
| dc.contributor.author | 남인호 | - |
| dc.date.accessioned | 2010-01-15T04:20:38Z | - |
| dc.date.available | 2010-01-15T04:20:38Z | - |
| dc.date.copyright | 2001. | - |
| dc.date.issued | 2001 | - |
| dc.identifier.uri | http://dcollection.snu.ac.kr:80/jsp/common/DcLoOrgPer.jsp?sItemId=000000063452 | kor |
| dc.identifier.uri | https://hdl.handle.net/10371/30856 | - |
| dc.description | 학위논문(박사)--서울대학교 대학원 :전기공학부,2001. | ko |
| dc.format.extent | ix, 124 p. | ko |
| dc.language.iso | ko | ko |
| dc.publisher | 서울대학교 대학원 | ko |
| dc.subject | 산화막 | ko |
| dc.subject | oxide | ko |
| dc.subject | 트랜지스터 | ko |
| dc.subject | transistor | ko |
| dc.subject | 신뢰성 | ko |
| dc.subject | MOS | ko |
| dc.subject | 질소이온주입 | ko |
| dc.subject | C-V | ko |
| dc.subject | 질소축적산화 | ko |
| dc.subject | AFM | ko |
| dc.title | 질소이온주입된 실리콘 기판 위에 성장한 게이트 산화막에 관한 연구 | ko |
| dc.title.alternative | Ultra-thin gate oxide grown on nitrogen implanted silicon | ko |
| dc.type | Thesis | - |
| dc.contributor.department | 전기공학부 | - |
| dc.description.degree | Doctor | ko |
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