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표면 마이크로머시닝 기술에 의해 제작된 마이크로미러의 잔류응력 추정 및 곡률보상에 관한 연구 : A study on the residual stress estimation and curvature compensation in surface micromachined micromirror
| DC Field | Value | Language |
|---|---|---|
| dc.contributor.advisor | 김용권 | - |
| dc.contributor.author | 민영훈 | - |
| dc.date.accessioned | 2010-01-15T04:20:49Z | - |
| dc.date.available | 2010-01-15T04:20:49Z | - |
| dc.date.copyright | 2000. | - |
| dc.date.issued | 2000 | - |
| dc.identifier.uri | http://dcollection.snu.ac.kr:80/jsp/common/DcLoOrgPer.jsp?sItemId=000000070716 | kor |
| dc.identifier.uri | https://hdl.handle.net/10371/30861 | - |
| dc.description | 학위논문(박사)--서울대학교 대학원 :전기공학부,2000. | ko |
| dc.format.extent | xiv, 174 장 | ko |
| dc.language.iso | ko | ko |
| dc.publisher | 서울대학교 대학원 | ko |
| dc.subject | 마이크로미러 | ko |
| dc.subject | micromirror | ko |
| dc.subject | 잔류응력 | ko |
| dc.subject | residual stress | ko |
| dc.subject | 모델링 | ko |
| dc.subject | Modeling | ko |
| dc.subject | 최소 오차법 | ko |
| dc.subject | Least squares fit | ko |
| dc.subject | 곡률 보상 | ko |
| dc.subject | Curvature compensation | ko |
| dc.title | 표면 마이크로머시닝 기술에 의해 제작된 마이크로미러의 잔류응력 추정 및 곡률보상에 관한 연구 | ko |
| dc.title.alternative | A study on the residual stress estimation and curvature compensation in surface micromachined micromirror | ko |
| dc.type | Thesis | - |
| dc.contributor.department | 전기공학부 | - |
| dc.description.degree | Doctor | ko |
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