Design and analysis electron optical system and controller in a compact scanning electron microscope

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Design and analysis electron optical system and controller in a compact scanning electron microscope : 소형주사전자현미경의 전자광학 시스템 및 제어기의 설계 및 해석

DC Field	Value	Language
dc.contributor.advisor	오수익	-
dc.contributor.author	박만진	-
dc.date.accessioned	2010-01-21T15:58:29Z	-
dc.date.available	2010-01-21T15:58:29Z	-
dc.date.copyright	2008.	-
dc.date.issued	2008	-
dc.identifier.uri	http://dcollection.snu.ac.kr:80/jsp/common/DcLoOrgPer.jsp?sItemId=000000041541	eng
dc.identifier.uri	https://hdl.handle.net/10371/41423	-
dc.description	Thesis(doctors) --서울대학교 대학원 :기계항공공학부,2008.8.	en
dc.format.extent	ix, 149 leaves.	en
dc.language.iso	en	en
dc.publisher	서울대학교 대학원	en
dc.subject	주사전자현미경	en
dc.subject	Scanning Electron Microscope (SEM)	en
dc.subject	전자광학시스템	en
dc.subject	Electron optical system	en
dc.subject	전자빔	en
dc.subject	Electron Beam	en
dc.subject	전자총	en
dc.subject	Electron Gun	en
dc.subject	열전자방출	en
dc.subject	Thermionic Emission	en
dc.subject	자기렌즈	en
dc.subject	Magnetic Lens	en
dc.subject	유한요소해석	en
dc.subject	Finite Element Analysis	en
dc.title	Design and analysis electron optical system and controller in a compact scanning electron microscope	en
dc.title.alternative	소형주사전자현미경의 전자광학 시스템 및 제어기의 설계 및 해석	en
dc.type	Thesis	-
dc.contributor.department	기계항공공학부	-
dc.description.degree	Doctor	en

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