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몬테카를로 시뮬레이션을 이용한 단차 및 다층용 전자빔 리소그래피 시뮬레이터
DC Field | Value | Language |
---|---|---|
dc.contributor.advisor | 전국진 | - |
dc.contributor.author | 이원규 | - |
dc.date.accessioned | 2010-01-25T02:27:32Z | - |
dc.date.available | 2010-01-25T02:27:32Z | - |
dc.date.copyright | 1999. | - |
dc.date.issued | 1999 | - |
dc.identifier.uri | http://dcollection.snu.ac.kr:80/jsp/common/DcLoOrgPer.jsp?sItemId=000000072538 | kor |
dc.identifier.uri | https://hdl.handle.net/10371/43259 | - |
dc.description | 학위논문(석사)--서울대학교 대학원 :전기공학부,1999. | ko |
dc.format.extent | 55 장 | ko |
dc.language.iso | ko | ko |
dc.publisher | 서울대학교 대학원 | ko |
dc.title | 몬테카를로 시뮬레이션을 이용한 단차 및 다층용 전자빔 리소그래피 시뮬레이터 | ko |
dc.type | Thesis | - |
dc.contributor.department | 전기공학부 | - |
dc.description.degree | Master | ko |
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