Development of real-time plasma monitoring method using AC driven electrostatic probe

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Development of real-time plasma monitoring method using AC driven electrostatic probe : 교류전위를 인가한 정전탐침을 이용한 실시간 플라즈마 진단법 개발

DC Field	Value	Language
dc.contributor.advisor	김곤호	-
dc.contributor.author	최명선	-
dc.date.accessioned	2010-01-25T07:39:14Z	-
dc.date.available	2010-01-25T07:39:14Z	-
dc.date.copyright	2009.	-
dc.date.issued	2009	-
dc.identifier.uri	http://dcollection.snu.ac.kr:80/jsp/common/DcLoOrgPer.jsp?sItemId=000000038821	eng
dc.identifier.uri	https://hdl.handle.net/10371/43580	-
dc.description	Thesis(masters) --서울대학교 대학원 :에너지시스템공학부,2009.8.	en
dc.format.extent	ix, 73 leaves	en
dc.language.iso	en	en
dc.publisher	서울대학교 대학원	en
dc.subject	정전 탐침	en
dc.subject	electrical probe	en
dc.subject	랭뮈어 탐침	en
dc.subject	Langmuir probe	en
dc.subject	부유 탐침	en
dc.subject	floating probe	en
dc.subject	쉬스 저항	en
dc.subject	floating potential	en
dc.subject	쉬스 정전용량	en
dc.subject	sheath resistance	en
dc.subject	인가 주파수	en
dc.subject	sheath capacitance	en
dc.subject	맥스웰 분포	en
dc.subject	bias frequency	en
dc.subject	드류베스틴 분포	en
dc.subject	Maxwellian distribution	en
dc.subject	원통형 탐침	en
dc.subject	Druyvesteyn distribution	en
dc.subject	cylindrical probe	en
dc.title	Development of real-time plasma monitoring method using AC driven electrostatic probe	en
dc.title.alternative	교류전위를 인가한 정전탐침을 이용한 실시간 플라즈마 진단법 개발	en
dc.type	Thesis	-
dc.contributor.department	에너지시스템공학부	-
dc.description.degree	Master	en

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