Ultra-precision micro-stage for active vibration control

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Ultra-precision micro-stage for active vibration control : 능동형 진동 제어를 위한 초정밀 마이크로 스테이지

DC Field	Value	Language
dc.contributor.advisor	김종원	-
dc.contributor.author	김화수	-
dc.date.accessioned	2010-01-26	-
dc.date.available	2010-01-26	-
dc.date.copyright	2006.	-
dc.date.issued	2006	-
dc.identifier.uri	http://dcollection.snu.ac.kr:80/jsp/common/DcLoOrgPer.jsp?sItemId=000000048714	eng
dc.identifier.uri	https://hdl.handle.net/10371/44288	-
dc.description	Thesis(doctor`s)--서울대학교 대학원 :기계항공공학부,2006.	en
dc.format.extent	xi, 116 p.	en
dc.language.iso	en	en
dc.publisher	서울대학교 대학원	en
dc.subject	능동형 진동 제어	en
dc.subject	Active Vibration Control	en
dc.subject	초정밀 마이크로 스테이지	en
dc.subject	Ultra-Precision Micro-Stage	en
dc.subject	압전 구동 소자	en
dc.subject	Piezoelectric actuator	en
dc.subject	탄성 힌지	en
dc.subject	Flexure hinge	en
dc.subject	레버-링크구조	en
dc.subject	Lever-linkage	en
dc.subject	시스템 식별	en
dc.subject	System identification	en
dc.subject	유한 요소법	en
dc.subject	Finite element method	en
dc.subject	모델 불확실성	en
dc.subject	Model uncertainty	en
dc.subject	강인 제어기	en
dc.subject	μ-synthesis	en
dc.title	Ultra-precision micro-stage for active vibration control	en
dc.title.alternative	능동형 진동 제어를 위한 초정밀 마이크로 스테이지	en
dc.type	Thesis	-
dc.contributor.department	기계항공공학부	-
dc.description.degree	Doctor	en

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