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탄성힌지와 압전소자 구동기를 이용한 초정밀 6자유도 스테이지 개발에 관한 연구 : Development of the 6 DOFs ultra precision positioning system using the PZT actuators and elastic hinges
| DC Field | Value | Language |
|---|---|---|
| dc.contributor.advisor | 박희재 | - |
| dc.contributor.author | 박종호 | - |
| dc.date.accessioned | 2010-01-26T07:13:40Z | - |
| dc.date.available | 2010-01-26T07:13:40Z | - |
| dc.date.copyright | 2003. | - |
| dc.date.issued | 2003 | - |
| dc.identifier.uri | http://dcollection.snu.ac.kr:80/jsp/common/DcLoOrgPer.jsp?sItemId=000000058428 | kog |
| dc.identifier.uri | https://hdl.handle.net/10371/44858 | - |
| dc.description | 학위논문(박사)--서울대학교 대학원 :기계항공공학부,2003. | ko |
| dc.format.extent | x, 184 장 | ko |
| dc.language.iso | ko | ko |
| dc.publisher | 서울대학교 대학원 | ko |
| dc.subject | 압전소자 구동기 | ko |
| dc.subject | PZT actuator | ko |
| dc.subject | 탄성힌지 | ko |
| dc.subject | Elastic hinge | ko |
| dc.subject | 6자유도 스테이지 | ko |
| dc.subject | Flexure | ko |
| dc.subject | 초정밀 위치제어 | ko |
| dc.subject | Ultra precision | ko |
| dc.subject | 간섭운동 | ko |
| dc.subject | 6 DOF | ko |
| dc.subject | 나노미터 | ko |
| dc.subject | Micro stage | ko |
| dc.subject | Nanometer | ko |
| dc.subject | Couple motion | ko |
| dc.subject | Position control | ko |
| dc.title | 탄성힌지와 압전소자 구동기를 이용한 초정밀 6자유도 스테이지 개발에 관한 연구 | ko |
| dc.title.alternative | Development of the 6 DOFs ultra precision positioning system using the PZT actuators and elastic hinges | ko |
| dc.type | Thesis | - |
| dc.contributor.department | 기계항공공학부 | - |
| dc.description.degree | Doctor | ko |
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