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상온에서 ICP-CVD를 이용하여 제작된 미세결정 실리콘 TFT에 관한 연구
| DC Field | Value | Language |
|---|---|---|
| dc.contributor.advisor | 한민구 | - |
| dc.contributor.author | 김선재 | - |
| dc.date.accessioned | 2010-01-26T23:10:20Z | - |
| dc.date.available | 2010-01-26T23:10:20Z | - |
| dc.date.copyright | 2008. | - |
| dc.date.issued | 2008 | - |
| dc.identifier.uri | http://dcollection.snu.ac.kr:80/jsp/common/DcLoOrgPer.jsp?sItemId=000000041254 | kog |
| dc.identifier.uri | https://hdl.handle.net/10371/45162 | - |
| dc.description | 학위논문(석사) --서울대학교 대학원 :전기. 컴퓨터공학부,2008.2 | ko |
| dc.format.extent | iv, 69 장 | ko |
| dc.language.iso | ko | ko |
| dc.publisher | 서울대학교 대학원 | ko |
| dc.subject | 박막 트랜지스터 | ko |
| dc.subject | thin film transistor | ko |
| dc.subject | 미세결정 실리콘 | ko |
| dc.subject | nanocrystalline silicon | ko |
| dc.subject | 실리콘 산화막 | ko |
| dc.subject | silicon dioxide | ko |
| dc.subject | 유도결합 플라즈마 | ko |
| dc.subject | Inductively coupled plasma | ko |
| dc.subject | 화학적 기상증착법 | ko |
| dc.subject | chemical vapor deposition | ko |
| dc.subject | 플렉서블 디스플레이 | ko |
| dc.subject | flexible display | ko |
| dc.title | 상온에서 ICP-CVD를 이용하여 제작된 미세결정 실리콘 TFT에 관한 연구 | ko |
| dc.type | Thesis | - |
| dc.contributor.department | 전기. 컴퓨터공학부 | - |
| dc.description.degree | Master | ko |
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