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전기적 강성 조절 방식의 미세 전기 기계 공진형 가속도계에 관한 연구 : (A)Study on MEMS-based resonant accelerometer using electrostatic stiffness changing effect
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- Authors
- Advisor
- 전국진
- Issue Date
- 2004
- Publisher
- 서울대학교 대학원
- Keywords
- 가속도계 ; Accelerometer ; 진동 빔형 가속도계 ; Vba ; 진동형 가속도계 ; Via ; 공진형 가속도계 ; Voa ; 진공 실장 ; Vibrating accelerometer ; 웨이퍼 단위 진공 실장 ; Oscillating accelerometer ; 혼합형 미세 가공 ; Resonant accelerometer ; Vacuum packaging ; Wafer level packaging ; Mixed micro-machining
- Description
- 학위논문(박사)--서울대학교 대학원 :전기·컴퓨터공학부,2004.
- Language
- Korean
- URI
- http://dcollection.snu.ac.kr:80/jsp/common/DcLoOrgPer.jsp?sItemId=000000053836
https://hdl.handle.net/10371/45850
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