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극미세 패터닝 기술을 이용한 단전자 트랜지스터의 제작에 관한 연구
| DC Field | Value | Language |
|---|---|---|
| dc.contributor.advisor | 박병국 | - |
| dc.contributor.author | 경재우 | - |
| dc.date.accessioned | 2010-02-02T07:04:55Z | - |
| dc.date.available | 2010-02-02T07:04:55Z | - |
| dc.date.copyright | 2003. | - |
| dc.date.issued | 2003 | - |
| dc.identifier.uri | http://dcollection.snu.ac.kr:80/jsp/common/DcLoOrgPer.jsp?sItemId=000000058057 | kog |
| dc.identifier.uri | https://hdl.handle.net/10371/48268 | - |
| dc.description | 학위논문(석사)--서울대학교 대학원 :전기·컴퓨터공학부,2003. | ko |
| dc.format.extent | ii, 50 장 | ko |
| dc.language.iso | ko | ko |
| dc.publisher | 서울대학교 대학원 | ko |
| dc.subject | Sidewall spacer 패터닝 | ko |
| dc.subject | Sidewall spacer patterning | ko |
| dc.subject | Trimming | ko |
| dc.subject | Fine line width | ko |
| dc.subject | 미세 선폭 | ko |
| dc.subject | Single electron transistor | ko |
| dc.subject | 단전자 트랜지스터 | ko |
| dc.subject | Quantum dot | ko |
| dc.subject | 양자점 | ko |
| dc.subject | Tunneling | ko |
| dc.subject | 터널링 | ko |
| dc.subject | Coulomb blockade | ko |
| dc.subject | Coulomb oscillation | ko |
| dc.title | 극미세 패터닝 기술을 이용한 단전자 트랜지스터의 제작에 관한 연구 | ko |
| dc.type | Thesis | - |
| dc.contributor.department | 전기·컴퓨터공학부 | - |
| dc.description.degree | Master | ko |
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