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진공실장된 MEMS 진동형 각속도계의 공진주파수와 Q factor 튜닝에 관한 연구
| DC Field | Value | Language |
|---|---|---|
| dc.contributor.advisor | 전국진 | - |
| dc.contributor.author | 정치환 | - |
| dc.date.accessioned | 2010-02-02T07:08:42Z | - |
| dc.date.available | 2010-02-02T07:08:42Z | - |
| dc.date.copyright | 2004. | - |
| dc.date.issued | 2004 | - |
| dc.identifier.uri | http://dcollection.snu.ac.kr:80/jsp/common/DcLoOrgPer.jsp?sItemId=000000053602 | kog |
| dc.identifier.uri | https://hdl.handle.net/10371/48342 | - |
| dc.description | 학위논문(석사)--서울대학교 대학원 :전기·컴퓨터공학부,2004. | ko |
| dc.format.extent | 46 장 | ko |
| dc.language.iso | ko | ko |
| dc.publisher | 서울대학교 대학원 | ko |
| dc.subject | MEMS | ko |
| dc.subject | Mems | ko |
| dc.subject | 진동형 각속도계 | ko |
| dc.subject | Vibratory gyroscopes | ko |
| dc.subject | Q factor | ko |
| dc.subject | Q factor | ko |
| dc.subject | 정전력 피드백 | ko |
| dc.subject | Electrostatic feedback | ko |
| dc.title | 진공실장된 MEMS 진동형 각속도계의 공진주파수와 Q factor 튜닝에 관한 연구 | ko |
| dc.type | Thesis | - |
| dc.contributor.department | 전기·컴퓨터공학부 | - |
| dc.description.degree | Master | ko |
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