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Nanoscale tri-gate CMOSFET architecture on Silicon-On-ONO (SOONO) substrate : SOONO 기판에 형성된 나노 크기의 삼중게이트 CMOSFET 구조
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- Authors
- Advisor
- 박병국
- Issue Date
- 2007
- Publisher
- 서울대학교 대학원
- Keywords
- 상보형금속산화막반도체소자 ; CMOS ; 초고집적 ; VLSI ; 금속산화막반도체전계효과트랜지스터 ; MOSFET ; 삼중게이트 ; tri-gate ; 산화막-질화막-산화막 위의 실리콘 ; silicon-on-ONO ; 절연막 위의 실리콘 ; SOONO ; 금속게이트 ; SOI ; 얇은측벽 ; TiN gate ; 짧은채널효과 ; metal gate ; 축소화 ; thin spacer ; short channel effect ; scale-down
- Description
- 학위논문(박사) --서울대학교 대학원 :전기. 컴퓨터공학부,2007.
- Language
- English
- URI
- http://dcollection.snu.ac.kr:80/jsp/common/DcLoOrgPer.jsp?sItemId=000000042983
https://hdl.handle.net/10371/48527
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