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변형 유전자 알고리즘을 이용한 마스크 패턴의 광학적 근접효과 보정에 관한 연구

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Authors
박정보
Advisor
이성묵
Issue Date
1998
Publisher
서울대학교 대학원
Description
학위논문(석사)--서울대학교 대학원 :과학교육과 물리전공,1998.
Language
Korean
URI
http://library.snu.ac.kr/search/DetailView.ax?sid=1&cid=0000757830

http://hdl.handle.net/10371/49809
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Appears in Collections:
College of Education (사범대학)Dept. of Science Education (과학교육과)Physics (물리전공)Theses (Master's Degree_물리전공)
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