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Simulated Annealing을 이용한 0.16㎛급 위상 변이 마스크(phase shift mask)최적화에 관한 연구
DC Field | Value | Language |
---|---|---|
dc.contributor.advisor | 이성묵 | - |
dc.contributor.author | 김유석 | - |
dc.date.accessioned | 2010-02-04T06:12:34Z | - |
dc.date.available | 2010-02-04T06:12:34Z | - |
dc.date.copyright | 1998. | - |
dc.date.issued | 1998 | - |
dc.identifier.uri | http://library.snu.ac.kr/search/DetailView.ax?sid=1&cid=0000757616 | kog |
dc.identifier.uri | https://hdl.handle.net/10371/49812 | - |
dc.description | 학위논문(석사)--서울대학교 대학원 :과학교육과 물리전공,1998. | ko |
dc.format.extent | 41 장 | ko |
dc.language.iso | ko | ko |
dc.publisher | 서울대학교 대학원 | ko |
dc.title | Simulated Annealing을 이용한 0.16㎛급 위상 변이 마스크(phase shift mask)최적화에 관한 연구 | ko |
dc.type | Thesis | - |
dc.contributor.department | 과학교육과 물리전공 | - |
dc.description.degree | Master | ko |
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