Publications
Detailed Information
초고진공 전자공명 화학기상증착법에 의한 Si과 Si₁- xGeⅹ의 in situ 도핑에 관한 연구
| DC Field | Value | Language |
|---|---|---|
| dc.contributor.advisor | 윤의준 | - |
| dc.contributor.author | 박진원 | - |
| dc.date.accessioned | 2010-02-08T07:44:04Z | - |
| dc.date.available | 2010-02-08T07:44:04Z | - |
| dc.date.copyright | 1996. | - |
| dc.date.issued | 1996 | - |
| dc.identifier.uri | http://dcollection.snu.ac.kr:80/jsp/common/DcLoOrgPer.jsp?sItemId=000000081002 | kog |
| dc.identifier.uri | https://hdl.handle.net/10371/52072 | - |
| dc.description | 학위논문(석사)--서울대학교 대학원 :무기재료공학과,1996. | ko |
| dc.format.extent | vii, 54 장 | ko |
| dc.language.iso | ko | ko |
| dc.publisher | 서울대학교 대학원 | ko |
| dc.title | 초고진공 전자공명 화학기상증착법에 의한 Si과 Si₁- xGeⅹ의 in situ 도핑에 관한 연구 | ko |
| dc.type | Thesis | - |
| dc.contributor.department | 무기재료공학과 | - |
| dc.description.degree | Master | ko |
- Appears in Collections:
- Files in This Item:
- There are no files associated with this item.
Item View & Download Count
Items in S-Space are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.