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금속 실리사이드를 이용한 박막히터의 제젝[실은 작]과 그 열적 특성 규명 및 응용에 관한 연구 : Studies on the characteristics and fabrications of the metal silicides thin film heater and their applications
| DC Field | Value | Language |
|---|---|---|
| dc.contributor.advisor | 주승기 | - |
| dc.contributor.author | 김병동 | - |
| dc.date.accessioned | 2010-03-09T23:49:52Z | - |
| dc.date.available | 2010-03-09T23:49:52Z | - |
| dc.date.copyright | 2003. | - |
| dc.date.issued | 2003 | - |
| dc.identifier.uri | http://dcollection.snu.ac.kr:80/jsp/common/DcLoOrgPer.jsp?sItemId=000000059313 | kog |
| dc.identifier.uri | https://hdl.handle.net/10371/59507 | - |
| dc.description | 학위논문(박사)--서울대학교 대학원 :공업화학과,2003. | ko |
| dc.format.extent | ix, 95 장 | ko |
| dc.language.iso | ko | ko |
| dc.publisher | 서울대학교 대학원 | ko |
| dc.subject | 박막히터 | ko |
| dc.subject | Thin film heater | ko |
| dc.subject | 고상 결정화 | ko |
| dc.subject | Spc | ko |
| dc.subject | 비정질 실리콘 | ko |
| dc.subject | Amorphous si | ko |
| dc.subject | 다결정 실리콘 | ko |
| dc.subject | Poly si | ko |
| dc.subject | 고온 공정 | ko |
| dc.subject | High temperature process | ko |
| dc.subject | 저온 공정 | ko |
| dc.subject | Low temperature process | ko |
| dc.title | 금속 실리사이드를 이용한 박막히터의 제젝[실은 작]과 그 열적 특성 규명 및 응용에 관한 연구 | ko |
| dc.title.alternative | Studies on the characteristics and fabrications of the metal silicides thin film heater and their applications | ko |
| dc.type | Thesis | - |
| dc.contributor.department | 공업화학과 | - |
| dc.description.degree | Doctor | ko |
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