Control over interface properties for fabricating nanopatterns in contact-based nanolithographic processes

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Control over interface properties for fabricating nanopatterns in contact-based nanolithographic processes : 접촉방식의 나노리소그래피에서 나노구조 제작을 위한 계면 성질 제어연구

DC Field	Value	Language
dc.contributor.advisor	서갑양	-
dc.contributor.author	김재관	-
dc.date.accessioned	2010-05-04T04:52:57Z	-
dc.date.available	2010-05-04T04:52:57Z	-
dc.date.copyright	2010	-
dc.date.issued	2010	-
dc.identifier.uri	http://dcollection.snu.ac.kr:80/jsp/common/DcLoOrgPer.jsp?sItemId=000000032499	eng
dc.identifier.uri	https://hdl.handle.net/10371/63898	-
dc.description	Thesis(doctors) --서울대학교 대학원 :기계항공공학부,2010.2.	en
dc.format.extent	xiii, 102 leaves	en
dc.language.iso	en	en
dc.publisher	서울대학교 대학원	en
dc.subject	nanotechnology	en
dc.subject	나노공정	en
dc.subject	nanopattern	en
dc.subject	나노 패턴	en
dc.subject	detachment lithography	en
dc.subject	박리 공정	en
dc.subject	work of adhesion	en
dc.subject	나노임프린트	en
dc.subject	nanoimprint	en
dc.subject	고분자 몰드	en
dc.subject	AFM	en
dc.subject	접착력	en
dc.subject	pull-off force and polymer mold	en
dc.subject	원자 현미경	en
dc.title	Control over interface properties for fabricating nanopatterns in contact-based nanolithographic processes	en
dc.title.alternative	접촉방식의 나노리소그래피에서 나노구조 제작을 위한 계면 성질 제어연구	en
dc.type	Thesis	-
dc.contributor.department	기계항공공학부	-
dc.description.degree	Doctor	en

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