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연성 힌지와 판 스프링을 이용한 초소형 쌍안정 관성 스위치에 관한 연구 : (A) MEMS Bistable Inertial Switch with Flexure Hinges and Beam Springs
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- Authors
- Advisor
- 김용권
- Issue Date
- 2010
- Publisher
- 서울대학교 대학원
- Keywords
- MEMS ; MEMS ; 쌍안정 ; bistable ; 관성 스위치 ; inertial switch ; 연성 힌지 ; flexure hinges ; 판 스프링 ; beam spring
- Description
- 학위논문(박사) --서울대학교 대학원 :전기. 컴퓨터공학부,2010.2.
- Language
- Korean
- URI
- http://dcollection.snu.ac.kr:80/jsp/common/DcLoOrgPer.jsp?sItemId=000000032515
https://hdl.handle.net/10371/64008
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