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실리콘 화학 기상 증착 중 생성되는 하전된 입자의 거동에 필라멘트 주변에 생성되는 전기장이 미치는 영향 : Effect of Electric Field around Hot Wires on Deposition Behavior of Charge Carriers during Hot-Wire Chemical Vapor Deposition of Silicon
| DC Field | Value | Language |
|---|---|---|
| dc.contributor.advisor | 황농문 | - |
| dc.contributor.author | 박순영 | - |
| dc.date.accessioned | 2010-05-10T03:43:06Z | - |
| dc.date.available | 2010-05-10T03:43:06Z | - |
| dc.date.copyright | 2010 | - |
| dc.date.issued | 2010 | - |
| dc.identifier.uri | http://dcollection.snu.ac.kr:80/jsp/common/DcLoOrgPer.jsp?sItemId=000000033299 | kog |
| dc.identifier.uri | https://hdl.handle.net/10371/64797 | - |
| dc.description | 학위논문(석사) --서울대학교 대학원 :재료공학부,2010.2. | ko |
| dc.format.extent | iv, 81장 | ko |
| dc.language.iso | ko | ko |
| dc.publisher | 서울대학교 대학원 | ko |
| dc.subject | 박막 | ko |
| dc.subject | Thin Film | ko |
| dc.subject | 열필라멘트 화학 기상 증착 | ko |
| dc.subject | Hot Wire Chemical Vapor Deposition | ko |
| dc.subject | 하전된 나노 입자 | ko |
| dc.subject | Charged Nano Particle | ko |
| dc.subject | 실리콘 | ko |
| dc.subject | Silicon | ko |
| dc.title | 실리콘 화학 기상 증착 중 생성되는 하전된 입자의 거동에 필라멘트 주변에 생성되는 전기장이 미치는 영향 | ko |
| dc.title.alternative | Effect of Electric Field around Hot Wires on Deposition Behavior of Charge Carriers during Hot-Wire Chemical Vapor Deposition of Silicon | ko |
| dc.type | Thesis | - |
| dc.contributor.department | 재료공학부 | - |
| dc.description.degree | Master | ko |
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