Nanoporous organosilicate thin films prepared with adamantane grafted porogens

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Nanoporous organosilicate thin films prepared with adamantane grafted porogens : 그래프트화된 아다만탄 기공형성제로 제조된 나노기공을 함유한 유기실리케이트 박막에 관한 연구

DC Field	Value	Language
dc.contributor.advisor	차국헌	-
dc.contributor.author	김성익	-
dc.date.accessioned	2010-05-14T08:01:38Z	-
dc.date.available	2010-05-14T08:01:38Z	-
dc.date.copyright	2005.	-
dc.date.issued	2005	-
dc.identifier.uri	http://dcollection.snu.ac.kr:80/jsp/common/DcLoOrgPer.jsp?sItemId=000000051235	eng
dc.identifier.uri	https://hdl.handle.net/10371/66354	-
dc.description	Thesis(master`s)--서울대학교 대학원 :응용화학부,2005.	en
dc.format.extent	viii, 43 leaves	en
dc.language.iso	en	en
dc.publisher	서울대학교 대학원	en
dc.subject	유기실리케이트	en
dc.subject	organosilicate	en
dc.subject	저유전물질	en
dc.subject	low-k	en
dc.subject	나노기공 박막	en
dc.subject	nanoporous thin film	en
dc.subject	아다만탄	en
dc.subject	adamantane	en
dc.subject	그래프트화된 기공형성수지	en
dc.subject	grafted porogen	en
dc.subject	혼합된 기공형성수지	en
dc.subject	blended porogen	en
dc.subject	이중 기공형성수지	en
dc.subject	dual porogen	en
dc.subject	테트로닉	en
dc.subject	Tetronic	en
dc.title	Nanoporous organosilicate thin films prepared with adamantane grafted porogens	en
dc.title.alternative	그래프트화된 아다만탄 기공형성제로 제조된 나노기공을 함유한 유기실리케이트 박막에 관한 연구	en
dc.type	Thesis	-
dc.contributor.department	응용화학부	-
dc.description.degree	Master	en

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