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정펄스 및 정펄스-역펄스 전류를 이용한 구리 전해 도금막의 특성 연구 : (The)Study on the characteristics of electrodeposited Cu using pulse and pulse-reverse current
| DC Field | Value | Language |
|---|---|---|
| dc.contributor.advisor | 오승모 | - |
| dc.contributor.author | 김수진 | - |
| dc.date.accessioned | 2010-05-14T08:02:07Z | - |
| dc.date.available | 2010-05-14T08:02:07Z | - |
| dc.date.copyright | 2005. | - |
| dc.date.issued | 2005 | - |
| dc.identifier.uri | http://dcollection.snu.ac.kr:80/jsp/common/DcLoOrgPer.jsp?sItemId=000000051227 | kog |
| dc.identifier.uri | https://hdl.handle.net/10371/66362 | - |
| dc.description | 학위논문(석사)--서울대학교 대학원 :응용화학부,2005. | ko |
| dc.format.extent | ix, 40 장 | ko |
| dc.language.iso | ko | ko |
| dc.publisher | 서울대학교 대학원 | ko |
| dc.subject | 정펄스 전해 도금 | ko |
| dc.subject | on-off pulse plating | ko |
| dc.subject | 정펄스-역펄스 전해 도금 | ko |
| dc.subject | pulse-reverse plating | ko |
| dc.subject | 폴리 에틸렌 글리콜 | ko |
| dc.subject | PEG | ko |
| dc.subject | 염소 이온 | ko |
| dc.subject | Cl- | ko |
| dc.subject | 등각 전착 | ko |
| dc.subject | conformal deposition | ko |
| dc.subject | 초등각 전착 | ko |
| dc.subject | superconformal deposition | ko |
| dc.title | 정펄스 및 정펄스-역펄스 전류를 이용한 구리 전해 도금막의 특성 연구 | ko |
| dc.title.alternative | (The)Study on the characteristics of electrodeposited Cu using pulse and pulse-reverse current | ko |
| dc.type | Thesis | - |
| dc.contributor.department | 응용화학부 | - |
| dc.description.degree | Master | ko |
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