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다중양자우물구조의 상호섞임을 이용한 광도파로의 제작 및 측정
Fabricatino and Measurement of Optical Waveguide using Multi Quantum Well Intermixing

DC Field Value Language
dc.contributor.author여덕호-
dc.contributor.author윤경훈-
dc.contributor.author김성준-
dc.date.accessioned2009-08-26T04:25:56Z-
dc.date.available2009-08-26T04:25:56Z-
dc.date.issued1999-07-
dc.identifier.citation전자공학회논문지, 제36권 D편, 제7호, 50-55쪽, 1999년 7월en
dc.identifier.issn1226-5845-
dc.identifier.urihttp://uci.or.kr/G300-j12265845.v36n07p50-
dc.identifier.urihttp://hdl.handle.net/10371/7866-
dc.description.abstractSeperate confinement heterostructure (SCH) 구조를 갖는 InGaAs/InGaAsP 다중양자우물구조의 상호섞임을 이용하여 광도파로를 제작하였다. 광도파로는 CH4H2 혼합가스를 이용한 반응성 이온 식각 방식으로 제작하였으며, 제작된 광도파로는 폭이 5um 이고, 식각 깊이가 1.2um 이다. 광도파로의 전송손실은 tunable laser를 이용한 Fabry-Perot 간섭현상을 이용하여 측정하였다. 800'C, 30s 열처리한 후 제작된 광도파로는 1550nm TE 모드에서 3.76dB/cm, TM 모드에서 3.95dB/cm의 전송손실을 보였다. 이 전송 손실은 지금까지 IFVD를 이용해 제작한 광도파로와 비교해서 매우 작은 값이다. 따라서, 이 방법은 광도파로등의 수동소자와 전자소자의 집적에 응용될 수 있다.en
dc.description.sponsorship본 연구는 교육부 학술진흥재단과 정보통신부 대학기초연구지원사업의 지원에 의해서 이루어졌습니다.en
dc.language.isokoen
dc.publisher대한전자공학회 = The Institute of Electronics Engineers of Koreaen
dc.title다중양자우물구조의 상호섞임을 이용한 광도파로의 제작 및 측정en
dc.title.alternativeFabricatino and Measurement of Optical Waveguide using Multi Quantum Well Intermixingen
dc.typeArticleen
dc.contributor.AlternativeAuthorYeo, Deok Ho-
dc.contributor.AlternativeAuthorYoon, Kyung Hun-
dc.contributor.AlternativeAuthorKim, Sung June-
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College of Engineering/Engineering Practice School (공과대학/대학원)Dept. of Electrical and Computer Engineering (전기·정보공학부)Journal Papers (저널논문_전기·정보공학부)
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