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다중양자우물구조의 상호섞임을 이용한 광도파로의 제작 및 측정 : Fabricatino and Measurement of Optical Waveguide using Multi Quantum Well Intermixing
| DC Field | Value | Language |
|---|---|---|
| dc.contributor.author | 여덕호 | - |
| dc.contributor.author | 윤경훈 | - |
| dc.contributor.author | 김성준 | - |
| dc.date.accessioned | 2009-08-26T04:25:56Z | - |
| dc.date.available | 2009-08-26T04:25:56Z | - |
| dc.date.issued | 1999-07 | - |
| dc.identifier.citation | 전자공학회논문지, 제36권 D편, 제7호, 50-55쪽, 1999년 7월 | en |
| dc.identifier.issn | 1226-5845 | - |
| dc.identifier.uri | http://uci.or.kr/G300-j12265845.v36n07p50 | - |
| dc.identifier.uri | https://hdl.handle.net/10371/7866 | - |
| dc.description.abstract | Seperate confinement heterostructure (SCH) 구조를 갖는 InGaAs/InGaAsP 다중양자우물구조의 상호섞임을 이용하여 광도파로를 제작하였다. 광도파로는 CH4H2 혼합가스를 이용한 반응성 이온 식각 방식으로 제작하였으며, 제작된 광도파로는 폭이 5um 이고, 식각 깊이가 1.2um 이다. 광도파로의 전송손실은 tunable laser를 이용한 Fabry-Perot 간섭현상을 이용하여 측정하였다. 800'C, 30s 열처리한 후 제작된 광도파로는 1550nm TE 모드에서 3.76dB/cm, TM 모드에서 3.95dB/cm의 전송손실을 보였다. 이 전송 손실은 지금까지 IFVD를 이용해 제작한 광도파로와 비교해서 매우 작은 값이다. 따라서, 이 방법은 광도파로등의 수동소자와 전자소자의 집적에 응용될 수 있다. | en |
| dc.description.sponsorship | 본 연구는 교육부 학술진흥재단과 정보통신부 대학기초연구지원사업의 지원에 의해서 이루어졌습니다. | en |
| dc.language.iso | ko | en |
| dc.publisher | 대한전자공학회 = The Institute of Electronics Engineers of Korea | en |
| dc.title | 다중양자우물구조의 상호섞임을 이용한 광도파로의 제작 및 측정 | en |
| dc.title.alternative | Fabricatino and Measurement of Optical Waveguide using Multi Quantum Well Intermixing | en |
| dc.type | Article | en |
| dc.contributor.AlternativeAuthor | Yeo, Deok Ho | - |
| dc.contributor.AlternativeAuthor | Yoon, Kyung Hun | - |
| dc.contributor.AlternativeAuthor | Kim, Sung June | - |
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