SHERP

반도체 공장에서의 종합품질경영
Total Quality Management of Semiconductor Manufacturing

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Authors
이상복; 황영헌; 강석호
Issue Date
1997-03
Publisher
대한산업공학회 = Korean Institute of Industrial Engineers
Citation
IE Interfaces, 10, 109-118
Abstract
본 논문에선 반도체 공정과 각 공정의 문제점 및 중요점을 살펴본 다음 종합품질경영(TQM)기법의 적용에 대해서 고찰하였다. TQM과 방침관리를 소개하고, 반도체 공장 전체의 관리 입장에서 적용할 수 있게 제안하였다. 또한 각 공정에서 사용할 수 있게 기존의 통계적 품질관리 기법 중 관리도와 60 기법을 반도체 공정에 맞게 수정하여 제안하였다. 또한 반도체 공정의 특성에 맞추어 모든 관리 기법이 동적으로 변화해야 한다는 관점에서 지속적 개선을 소개하고 적용을 추천하였다.
ISSN
1225-0996
Language
Korean
URI
http://hdl.handle.net/10371/8586
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Appears in Collections:
College of Engineering/Engineering Practice School (공과대학/대학원)Dept. of Industrial Engineering (산업공학과)Journal Papers (저널논문_산업공학과)
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