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Null Point 주사현미경을 이용한 매달린 형태 CVD 그래핀의 열전도도, 그리고 제백계수 측정
Thermal Conductivity and the Seebeck Coefficient Measurements of Suspended CVD Graphene Using Null Point Scanning Thermal Microscopy

DC Field Value Language
dc.contributor.advisor이준식-
dc.contributor.author윤기철-
dc.date.accessioned2017-07-14T03:46:41Z-
dc.date.available2017-07-14T03:46:41Z-
dc.date.issued2013-02-
dc.identifier.other000000009216-
dc.identifier.urihttps://hdl.handle.net/10371/123975-
dc.description학위논문 (석사)-- 서울대학교 대학원 : 기계항공공학부(멀티스케일 기계설계전공), 2013. 2. 이준식.-
dc.description.abstract매달린 형태의 CVD 그래핀 bridge 구조를 갖는 시편 제작을 위해 제작 방법이 간단하며 폴리머 잔류물을 적게 남기는 PDMS stamping 방법을 이용하였다. 금속전극에 매달린 형태의 구조를 갖는 최대 4.8 μm길이의 그래핀 bridge 시편을 제작하였다.
NP SThM을 이용하여 전기적으로 가열된 매달린 형태 그래핀의 표면 온도분포를 정량적으로 계측하였으며, 원자력 현미경 포텐셔미터를 이용하여 금 전극과 그래핀 사이의 정량적인 접촉저항 계측으로부터 그래핀에 인가된 power를 계측하였다. 정량적인 온도와 power 계측으로부터 매달린 구조 CVD그래핀의 열전도도를 계측하였다. 또한, 동일한 시편으로 게이트전압 변화에 따른 그래핀의 제백계수 그리고 전기전도도를 측정하였다.
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dc.description.tableofcontentsChapter 1 서 론
1.1 연구 배경 1
1.2 연구 동향 2
1.3 연구 범위 5

Chapter 2 NP SThM을 이용한 온도 계측
2.1 온도 계측 원리 10
2.2 실험장치 구성 및 실험방법 12
2.3 정량적 온도계측의 정확성 확인을 위한 벤치마킹 실험 14

Chapter 3 CVD 그래핀의 열전도도, 제백계수, 그리고 전기전도도 계측 방법
3.1 열전도도 (k) 20
3.2 제백계수 (S) 22
3.3 전기전도도 (σ) 24

Chapter 4 실험시편 준비
4.1 전극과 트렌치를 갖는 모재 제작 31
4.2 PDMS를 이용한 패턴된 그래핀 전사 32
4.3 Raman spectroscopy를 이용한 그래핀 품질 확인 36

Chapter 5 CVD 그래핀의 열전도도, 제백계수, 그리고 전기전도도 계측 결과
5.1 열전도도 (k) 45
5.2 제백계수 (S) 54
5.3 전기전도도 (σ) 57

Chapter 6 요약 및 결론 64

References 66

Abstract (in English) 72
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dc.formatapplication/pdf-
dc.format.extent4407736 bytes-
dc.format.mediumapplication/pdf-
dc.language.isoko-
dc.publisher서울대학교 대학원-
dc.subjectCVD 그래핀-
dc.subject그래핀 bridge-
dc.subject그래핀 줄 가열-
dc.subject열전도도-
dc.subject제백계수-
dc.subject전기전도도-
dc.subject전기접촉저항-
dc.subjectNull Point 주사현미경 (NP SThM)-
dc.subject원자력 현미경 포텐셔미터-
dc.subjectPDMS stamping-
dc.subject.ddc621-
dc.titleNull Point 주사현미경을 이용한 매달린 형태 CVD 그래핀의 열전도도, 그리고 제백계수 측정-
dc.title.alternativeThermal Conductivity and the Seebeck Coefficient Measurements of Suspended CVD Graphene Using Null Point Scanning Thermal Microscopy-
dc.typeThesis-
dc.contributor.AlternativeAuthorKichul Yoon-
dc.description.degreeMaster-
dc.citation.pagesxiv, 73-
dc.contributor.affiliation공과대학 기계항공공학부(멀티스케일 기계설계전공)-
dc.date.awarded2013-02-
Appears in Collections:
College of Engineering/Engineering Practice School (공과대학/대학원)Dept. of Mechanical Aerospace Engineering (기계항공공학부)Theses (Master's Degree_기계항공공학부)
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